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直驅壓電平移臺 ║P103是采用壓電陶瓷驅動的直驅型壓電納米定位臺,壓電平移臺采用直驅式結構設計,具有大推力、大承載、高動態、小體積的特點,內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點,壓電平移臺具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。壓電納米定位臺為無磁材質,使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。可組合成二維XY向臺和三維XYZ向臺。壓電平移臺特點體積小、結構緊湊、易于集成。

機構直驅式壓電納米位移臺是采用壓電陶瓷直接驅動。

壓電陶瓷具有很大的推力及剛度,從而使平臺具有很高的運動剛度和推/拉力,同時具有優異的動態性能和承載能力。

                                                                                     

◆ 價格實惠的緊湊型定位系統;

◆ 可提供更小外形尺寸版本;

◆ 可提供組合式XY,XZ,XYZ軸版本;

◆ 無摩擦柔性鉸鏈導向可實現極高的運動精度;

◆ 高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命。

● 納米定位

● 掃描顯微鏡

● 測量技術

● 光子

● 光纖定位

● 測試程序和質量保證

 

 

型號

P103

單位

公差

主動軸

X

-

-

運動和定位

 

 

 

最大行程[-20V~+150V]

36

μm

±20%

標稱行程[0V~+120V]

30

μm

±20%

開環分辨率[16bit DAC]

0.5

nm

typ.

機械特性

 

 

 

運動方向剛度

25

N/μm

±20%

空載諧振頻率

2.3

KHz

±20%

運動方向推/拉力

1000/100

N

Max.

承載能力

100

N

Max.

其他

 

 

 

工作溫度

-20~80

-

材質

-

-

外形尺寸

78x40x20

mm

-

重量

0.4

Kg

±5%

線纜長度

1.5

m

±10mm

連接器類型

LEMO│D-Sub9

-

-

注:最大驅動電壓為-20V...+150V;對于高可靠的長期使用,建議驅動電壓為0V...+120V。

 ? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運動導向的壓電陶瓷納米定位系統,系統分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。開環分辨率為受系統放大器噪聲限制所能達到的典型值。極低的系統定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環分辨率。

配套控制器

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