• 回到頂部
  • 0412-2501710
  • 郵箱
  • 微信二維碼

壓電促動器 ║P01系列是采用壓電陶瓷驅動的平行機構放大型納米級壓電促動器,壓電陶瓷促動器使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點,壓電促動器具有極佳的運動控制精度,分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。壓電促動器為無磁材質,使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。壓電促動器體積小、結構緊湊、易于集成。

 

壓電陶瓷堆疊型促動器的位移通??蛇_幾十微米,最大可達幾百微米。柔性鉸鏈導向結構可通過設計,使其作用原理如同一根機械杠桿,對壓電陶瓷促動器的位移進行機械放大,必要時將促動器引導至一個不同的方向上。杠桿放大系統的設計十分嚴苛:一方面,其應防止側向偏移,另一方面,其應始終沿直線進行導向,杠桿通常是通過一個樞軸點進行引導。此外,行程的增大將導致剛度減小。柔性鉸鏈導向可通過設計,使其進一步集成無需額外導向。柔性鉸鏈結構是用作導向和杠桿系統,在具有更高集成度的壓電陶瓷系統中作用也是如此。

 

內置高性能壓電陶瓷促動器具有超長使用壽命
壓電陶瓷促動器由環氧脂質涂層包裹,具有優異的防潮特性,避免漏電流增大造成故障,可實現無故障運行1000億個循環。


零間隙無摩擦柔性鉸鏈導向帶來高導向精度
柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損,無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力,且它們對沖擊和振動不敏感。

                                                                                     

◆ 價格實惠的緊湊型定位系統;

◆ 可提供各種行程版本;

◆ 可提供更小外形尺寸版本;

◆ 可定制各種外形結構與安裝方式;

◆ 特別適用于光學、醫學技術、生物技術和微流體中的OEM應用;

◆ 采用無摩擦高精度柔性鉸鏈導向系統可實現偏擺最小的直線運動;

◆ 高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命;

◆ 內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋,開/閉環可供選擇。

● 納米定位

● 高速切換

● 膜片箝

● 微分配

● 自適應系統技術/自動化

● 光子學/集成光學

● 生物技術

 

                                                                            


型號

P011S

P012S

P014S

單位

公差

主動軸

Z

Z

Z

-

-

運動和定位

 

 

 

 

 

傳感器類型

SGS 應變片

SGS 應變片

SGS 應變片

-

-

開環行程[-20V~+150V]

120

250

500

μm

±20%

閉環行程[0V~+120V]

100

200

400

μm

±20%

開環分辨率

0.6

1.3

2.5

nm

typ.

閉環分辨率[16bit DAC]

1.6

3.1

6.2

nm

typ.

閉環線性度

0.04

0.04

0.04

%F.S.

typ.

重復定位精度

±5

±10

±20

nm

typ.

機械特性

 

 

 

 

 

運動方向剛度

0.8

0.4

0.2

N/μm

±20%

空載諧振頻率

730

460

350

Hz

±20%

運動方向推/拉力

50/10

50/10

50/10

N

Max.

其他

 

 

 

 

 

工作溫度

-20~80

-20~80

-20~80

-

材質

鋼,鋁

鋼,鋁

鋼,鋁

-

-

外形尺寸

55x20x15

75x22x15

95x25x15

mm

-

重量

0.05

0.1

0.15

Kg

±5%

線纜長度

1.5

1.5

1.5

m

±10mm

連接器類型

LEMO│D-Sub9

LEMO│D-Sub9

LEMO│D-Sub9

-

-

注:最大驅動電壓為-20V...+150V;對于高可靠的長期使用,建議驅動電壓為0V...+120V。

? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運動導向的壓電陶瓷納米定位系統,系統分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。開環分辨率為受系統放大器噪聲限制所能達到的典型值。極低的系統定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環分辨率。

配套控制器

相關產品