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研生PIEZOXYZ的壓電納米定位臺可提供納米級分辨率和精度以及出色的速度和線性度

壓電平臺也稱為納米定位臺、壓電納米臺、壓電柔性鉸鏈平臺或納米定位平臺。壓電平臺是一種由壓電陶瓷致動器驅動的機械裝置,通過柔性鉸鏈運動導向機構支撐傳動,提供一個或多個運動軸。納米定位表示以納米精度移動和測量的技術。壓電平臺用于納米定位應用,它是可以達到納米級精度水平的運動定位平臺。研生PIEZOXYZ設計和制造的使用撓性鉸鏈將移動平臺連接到靜態底座的系統,當與閉環反饋一起使用時,研生PIEZOXYZ的壓電納米定位臺可以提供出色的速度和線性度以及納米分辨率和精度。

 

 

壓電陶瓷直驅式結構設計

壓電平移臺內部采用壓電陶瓷直驅式結構設計,具有大推力、大承載、高動態、小體積等特點,結構緊湊、易于集成,可組合成二維XY向臺和三維XYZ向臺。

 

無摩擦零間隙的柔性鉸鏈導向系統帶來高精度的運動導向

壓電納米位移臺內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向結構,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,柔性鉸鏈導向具有高剛性、高負載、無摩擦、無磨損、無需潤滑、免維護等特點。它們的剛性可實現高負載能力,且它們對沖擊和振動不敏感。真空兼容,可在很廣的溫度范圍內工作。

  

內置電容式精密位移傳感器,實現亞納米分辨率

壓電納米定位臺內置電容式精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量,且無接觸。它們可確保優異的運動線性、長期穩定性和千赫茲范圍的帶寬,確保納米定位臺具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。

   

直接位置測量帶來超高的運動控制精度

位移變化可直接在納米運動平臺上測量,完全不受驅動或導向元件的影響。這樣可以實現最佳的重復定位精度、優異的穩定性和剛性、快速響應控制。

 

高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

壓電陶瓷促動器由環氧脂質涂層包裹,具有優異的防潮特性,避免漏電流增大造成故障。壓電陶瓷促動器比傳統式壓電促動器的使用壽命更長,性能更穩定,可實現無故障運行1000億個循環。

 

 

采用無磁材質設計制造,不受磁場的影響

壓電位移臺為無磁材質,使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。

機構直驅式壓電納米位移臺是采用壓電陶瓷直接驅動。

壓電陶瓷具有很大的推力及剛度,從而使平臺具有很高的運動剛度和推/拉力,同時具有優異的動態性能和承載能力。

                                                                                     

◆ 緊湊型定位系統;

◆ 可提供更小外形尺寸版本;

◆ 可提供組合式XY,XZ,XYZ軸版本;

◆ 無摩擦柔性鉸鏈導向可實現極高的運動精度;

◆ 高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命;

◆ 內置電容式精密位移傳感器進行全閉環位置反饋,開/閉環可供選擇。

● 納米定位

● 掃描顯微鏡

● 測量技術

● 光子

● 光纖定位

● 測試程序和質量保證

                                                                                                    


                                                 

型號

P101C

P102C

單位

公差

主動軸

X

X

-

-

運動和定位

 

 

 

 

傳感器類型

電容式,直接測量

電容式,直接測量

-

-

開環行程[-20V~+150V]

16

32

μm

±20%

閉環行程[0V~+120V]

12

25

μm

±20%

開環分辨率

0.1

0.2

nm

typ.

閉環分辨率[16bit DAC]

0.2

0.4

nm

typ.

閉環線性度

0.1

0.1

%F.S.

typ.

重復定位精度

±1

±2

nm

typ.

機械特性

 

 

 

 

運動方向剛度

40

20

N/μm

±20%

空載諧振頻率

3.2

2.1

KHz

±20%

運動方向推/拉力

100/10

100/10

N

Max.

承載能力

30

30

N

Max.

其他

 

 

 

 

工作溫度

-20~80

-20~80

-

材質

-

-

外形尺寸

60x40x15

78x40x15

mm

-

重量

0.25

0.35

Kg

±5%

線纜長度

1.5

1.5

m

±10mm

連接器類型

LEMO│SMB

LEMO│SMB

-

-

注:最大驅動電壓為-20V...+150V;對于高可靠的長期使用,建議驅動電壓為0V...+120V。

? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運動導向的壓電陶瓷納米定位系統,系統分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。開環分辨率為受系統放大器噪聲限制所能達到的典型值。極低的系統定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環分辨率。

配套控制器

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